2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

2015年3月12日(木) 16:00 〜 18:00 P10 (総合体育館)

16:00 〜 18:00

[12p-P10-6] マイクロ波プラズマを用いた熱電子発電器用半導体エミッタの表面処理

〇(M1)井上 健吾1、荻野 明久1、渡邉 孝俊2 (1.静大院工, 2.静大工)

キーワード:半導体、熱電子放出