[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[12p-P10-6] マイクロ波プラズマを用いた熱電子発電器用半導体エミッタの表面処理

〇(M1)井上 健吾¹、荻野 明久¹、渡邉 孝俊² (1.静大院工, 2.静大工)

キーワード：半導体、熱電子放出