[12p-P10-1~8] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[12p-P10-7] a-Si:H:Fの極低温合成とレーザーアニーリングによる結晶化

〇坂巻 直¹、佐藤 哲也¹、中川 清和¹ (1.医工総研)

キーワード：アモルファスシリコン、ナノ結晶シリコン、極低温