[12p-P16-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-P16-19] 反応性プラズマ支援成膜法により形成したBN 膜の粘弾性と密着性

〇野間 正男¹、山下 満²、江利口 浩二³、長谷川 繁彦⁴ (1.神港精機株式会社, 2.兵庫県立工業技術センター, 3.京大院工, 4.阪大産研)

キーワード：BN、PVD、粘弾性