[12p-P16-1~19] 15.4 III-V族窒化物結晶

[12p-P16-8] RF-MBE法による窒化サファイア基板上アルミニウム薄膜成長

〇(B)星川 侑也¹、大澤 真弥¹、松本 雄大¹、山口 智広¹、尾沼 猛儀^{1, 2}、本田 徹¹ (1.工学院大, 2.東京高専)

キーワード：MBE、アルミニウム