[12p-P17-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12p-P17-4] 伸張歪みSi/緩和SiGe/Si(110)の表面モフォロジーへの成長速度の影響

〇宇津山 直人¹、佐藤 圭¹、有元 圭介¹、山中 淳二¹、中川 清和¹、宇佐美 徳隆²、澤野 憲太郎³ (1.山梨大クリスタル研, 2.名古屋大, 3.東京都市大総研)

キーワード：半導体、シリコン、成長速度