[12p-P17-1~7] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[12p-P17-5] 歪みSi/Si1-xCx/Si(001)ヘテロ構造の結晶性と不純物活性化過程との関係

〇藤原 幸亮¹、酒井 翔一朗¹、小林 昭太¹、有元 圭介¹、山中 淳二¹、中川 清和¹、宇佐美 徳隆²、星 裕介²、澤野 憲太郎³ (1.山梨大学クリスタル研, 2.名古屋大学, 3.東京都市大総研)

キーワード：半導体