[12p-P3-1~3] 1.5 資源・環境

[12p-P3-3] 深紫外ＬＥＤを用いたオゾン濃度測定装置の開発

〇中村 広隆¹、武田 有志¹、菅野 裕靖²、阿彦 由美²、青柳 克信³ (1.都産技研, 2.(有)光電鍍工業所, 3.立命館大)

キーワード：オゾンガス、深紫外LED、オゾン濃度測定