[13a-A23-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[13a-A23-6] SOIトランジスタの自己加熱による水素センサの低消費電力化

〇宮田 耕¹、竹内 豪¹、高橋 綱己^{1, 2}、内田 建^{1, 2} (1.慶應義塾大学, 2.JST CREST)

キーワード：センサ、トランジスタ、自己加熱