[13a-A25-1~13] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13a-A25-10] リモート水素プラズマ支援によるFeシリサイドナノドットの高密度一括形成と磁化特性評価

〇張 海¹、牧原 克典¹、大田 晃生²、壁谷 悠希¹、宮崎 誠一¹ (1.名大院工, 2.名大VBL)

キーワード：Feシリサイドナノドット、磁化特性、水素プラズマ