2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13a-A25-1~13] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2015年3月13日(金) 09:00 〜 12:30 A25 (6A-218)

11:00 〜 11:15

[13a-A25-8] β-FeSi2多結晶薄膜における電気伝導機構の検証

〇(M1C)東 貴彦1、中山 翔太1、服部 哲1、三村 祐介1、塚本 裕明1、山口 陽己1、寺井 慶和1 (1.鹿児島大理工)

キーワード:シリサイド半導体