[13a-A25-1~13] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13a-A25-8] β-FeSi₂多結晶薄膜における電気伝導機構の検証

〇(M1C)東 貴彦¹、中山 翔太¹、服部 哲¹、三村 祐介¹、塚本 裕明¹、山口 陽己¹、寺井 慶和¹ (1.鹿児島大理工)

キーワード：シリサイド半導体