[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[13a-A27-1] VHF-DC重畳マグネトロンスパッタにおける成膜速度評価

〇福井 崇史¹、福岡 侑士¹、高田 昇治²、笹井 建典¹、豊田 浩孝^{1, 3} (1.名大工, 2.名大技術部, 3.名大プラズマナノ工学研究センター)

キーワード：プラズマ