[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [13a-A27-10] ラジカル注入型プラズマ励起化学気相堆積法で成長したアモルファスカーボン膜の膜構造及び電子物性に対するイオン照射効果

〇杉浦 啓嗣¹、賈 凌雲¹、徐 達¹、中村 将之¹、近藤 博基¹、石川 健治¹、竹田 圭吾¹、関根 誠¹、堀 勝¹ (1.名大院工)

キーワード：アモルファスカーボン、プラズマ励起化学気相堆積