[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[13a-A27-2] ハイブリッド対向スパッタによるPETフィルム上へのITO透明導電膜の作製

〇諸橋 信一¹、谷本 司¹、辻田 圭佑¹、荒川 俊也¹、原田 直幸¹、村田 卓也¹ (1.山口大工)

キーワード：ハイブリッド対向スパッタ、ITO 薄膜、PET フィルム