[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[13a-A27-5] 異なる粒子サイズのTi粉体ターゲットを用いたスパッタリング堆積

〇大島 多美子¹、前田 堯¹、田中 雪¹、川崎 仁晴¹、柳生 義人¹、猪原 武士¹、須田 義昭¹ (1.佐世保高専)

キーワード：スパッタリング、粉体ターゲット