PDF ダウンロード スケジュール 6 いいね! 0 10:15 〜 10:30 [13a-A27-6] スパッタを用いた低温高速層交換Ge結晶成長に対する基板温度の効果 〇古閑 一憲1、市田 大樹1、橋本 慎史1、徐 鉉雄1、山下 大輔1、板垣 奈穂1, 2、白谷 正治1 (1.九大, 2.JST PRESTO) キーワード:層交換結晶成長、スパッタリング、フレキシブルデバイス