[13a-A27-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[13a-A27-7] 水素化アモルファスシリコン薄膜中Si-H₂結合生成に対するクラスタ混入とラジカル表面反応の寄与

〇古閑 一憲¹、都甲 将¹、鳥越 祥宏¹、毛屋 公孝¹、徐 鉉雄¹、板垣 奈穂^{1, 2}、白谷 正治¹ (1.九大, 2.JST PRESTO)

キーワード：光劣化、水素化アモルファスシリコン、表面反応