2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.4 III-V族窒化物結晶

[13a-B1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

2015年3月13日(金) 08:30 〜 13:00 B1 (6B-101)

09:15 〜 09:30

[13a-B1-4] スパッタAlN上規則配列ナノコラムLEDのフリップチップ加工

〇野間 友博1、林 宏暁1、福島 大史1、野村 一郎1、岸野 克巳1 (1.上智大理工)

キーワード：ナノコラム、フリップチップ