[13a-B1-1~17] 15.4 III-V族窒化物結晶

△ [13a-B1-6] 高Al組成のn-AlGaNにおけるV系電極のコンタクト特性

〇森 一喜¹、武田 邦宏¹、草深 敏匡¹、岩谷 素顕¹、上山 智¹、竹内 哲也¹、赤崎 勇^{1, 2}、天野 浩³ (1.名城大理工, 2.赤崎記念研究センター, 3.名古屋大院工)

キーワード：V系電極、n型AlGaN、コンタクト特性