[13a-B4-1~10] 15.6 IV族系化合物

[13a-B4-1] SiC表面における酸化初期での反応過程に関する理論的検討

〇伊藤 綾子¹、秋山 亨¹、中村 浩次¹、伊藤 智徳¹、影島 博之²、植松 真司³、白石 賢二⁴ (1.三重大院工, 2.島根大院理工, 3.慶大理工, 4.名大院工)

キーワード：SiC、酸化