09:30 〜 11:30
[13a-P11-1] フルオロカーボンプラズマによりエッチングされたHfO2基板最表面における化学組成分析
キーワード：HfO2、CF4、エッチング
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
[13a-P11-1~2] 8.4 プラズマエッチング
2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P11 (総合体育館)
一般セッション(ポスター講演)
8 プラズマエレクトロニクス » 8.4 プラズマエッチング
2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P11 (総合体育館)
09:30 〜 11:30
キーワード：HfO2、CF4、エッチング