[13a-P11-1~2] 8.4 プラズマエッチング

[13a-P11-2] HプラズマによるSi表面エッチングにおける温度依存性の解析 -バルク上・表面H拡散の影響-

〇稲垣 耕司^{1, 2}、森川 良忠¹、安武 潔^{1, 2} (1.阪大院工, 2.JST-CREST)

キーワード：HプラズマSiエッチング、拡散、温度依存性