[13a-P13-1~27] 12.1 作製・構造制御

[13a-P13-3] 種々のパラフィン系材料を用いた蒸着膜の作製と評価

〇佐藤 慶太¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大工)

キーワード：パラフィン、蒸着、薄膜