[13a-P13-1~27] 12.1 作製・構造制御

[13a-P13-4] ポリイミド上へのイオン化蒸着法による銅シード層の作製と評価

〇神野 友樹¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大工)

キーワード：シード層、フレキシブルプリント基板、蒸着