[13a-P13-1~27] 12.1 作製・構造制御

[13a-P13-5] イオンアシスト蒸着法を用いたポリイミド表面改質層の形成

〇河村 拓¹、田中 邦明¹、臼井 博明¹ (1.農工大工)

キーワード：イオンアシスト蒸着、蒸着重合、表面改質