2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P14 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

△ [13a-P14-1] AuとGeの同時スパッタによるGe薄膜の結晶化(Ⅱ)

〇杉山 貴俊1、神子 公男2、弓野 健太郎1 (1.芝浦工業大学, 2.東大生研)

キーワード：結晶化