[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [13a-P14-11] SAB法によるSi/Si接合の界面特性の評価

〇(B)山條 翔二¹、森本 雅史¹、梁 剣波¹、重川 直輝¹ (1.大阪市大工)

キーワード：界面準位、表面活性化接合、熱処理