[13a-P14-1~14] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

△ [13a-P14-13] ポリイミドを構造体兼接着剤として用いたマイクロ流体デバイスの作製法

〇小宮山 凌平¹、近藤 正大¹、宮下 英俊¹、李 相錫¹ (1.鳥取大学)

キーワード：マイクロ流体デバイス、pHセンサ