09:30 〜 11:30
▲ [13a-P14-3] First Trial Fabrication of Poly-Si TFTs using Crystallization-Induction Layers of Yttria-Stabilized Zirconia and Pulsed Laser Annealing Crystallization Methods
キーワード:pulsed laser crystallization,poly-Si,TFT
一般セッション(ポスター講演)
13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術
2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P14 (総合体育館)
09:30 〜 11:30
キーワード:pulsed laser crystallization,poly-Si,TFT