Finite element method simulation of three-terminal graphene NEMS switches

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

13 半導体 » 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月13日(金) 09:30 〜 11:30 P14 (総合体育館)

09:30 〜 11:30

〇(D)Jothiramalingam Kulothungan¹, Manoharan Muruganathan¹, Hiroshi Mizuta^1,² (1.JAIST, 2.Univ. of Southampton)

キーワード：NEMS,Graphene,Finite Element Method