[13a-P16-1~2] 15.7 エピタキシーの基礎

[13a-P16-1] ミストCVDによるα-(AlGa)₂O₃混晶成長の基礎検討 ーα-Ga₂O₃と比較したα-Al₂O₃の成長速度の検討ー

〇(B)高橋 幹夫¹、畠山 匠¹、尾沼 猛儀^{1, 2}、山口 智広¹、本田 徹¹ (1.工学院大工, 2.東京高専)

キーワード：ミスト CVD