[13a-P18-1~22] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス（ポスター）

[13a-P18-15] サファイア上にミストCVD成長させたα-Fe₂O₃(0001)薄膜のCAICISSによる表面構造解析

〇尾坂 駿¹、丹波 大樹¹、高橋 一暉¹、織田 真也^{2, 3}、金子 健太郎²、田畑 博史¹、久保 理¹、藤田 静雄²、片山 光浩¹ (1.阪大院工, 2.京大院工, 3.FLOSFIA(株))

キーワード：酸化鉄、同軸型直衝突イオン散乱分光法、ミストCVD法