2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

[13p-A17-1~11] 15.2 II-VI族結晶および多元系結晶

2015年3月13日(金) 16:15 〜 19:15 A17 (6A-207)

19:00 〜 19:15

[13p-A17-11] ZnSnN2結晶の作製と評価(2) －スパッタ多結晶膜－

竹内 智之1、曹 祥1、川村 史朗2、〇山田 直臣1 (1.中部大工, 2.物材機構)

キーワード：Zn-IV-N2、多結晶薄膜、スパッタリング