[13p-A21-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[13p-A21-2] 斜方晶相を含むエピタキシャルHfO₂基薄膜の結晶構造解析

〇片山 きりは¹、清水 荘雄²、横内 達彦¹、白石 貴久¹、及川 貴弘¹、木口 賢紀³、赤間 章裕³、今野 豊彦³、内田 寛⁴、舟窪 浩^{1, 2} (1.東工大総理工, 2.東工大元素, 3.東北大金研, 4.上智大理工)

キーワード：強誘電体、ハフニア、斜方晶