[13p-A21-1~9] 6.1 強誘電体薄膜

[13p-A21-5] 強誘電体プローブデータストレージ用PZT薄膜媒体の表面層のXPS測定

〇平永 良臣¹、陳 一桐¹、長 康雄¹ (1.東北大通研)

キーワード：強誘電体、情報ストレージ、走査型非線形誘電率顕微鏡