[13p-A23-1~10] 13.5 デバイス／集積化技術

[13p-A23-4] TEMその場観察法によるCu/MoO_x/Al₂O₃抵抗変化型メモリの特性評価

〇平田 周一郎¹、高橋 謙仁¹、工藤 昌輝¹、廣井 孝弘¹、中根 明俊¹、福地 厚¹、有田 正志¹、高橋 庸夫¹ (1.北大院情報)

キーワード：TEMその場観察