[13p-A25-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13p-A25-6] W内包Siクラスターを凝集したシリサイド半導体薄膜の電気伝導特性

〇岡田 直也^{1, 2}、内田 紀行²、金山 敏彦² (1.JSTさきがけ, 2.産総研)

キーワード：シリサイド半導体、キャリア輸送特性、金属-半導体界面コンタクト