[13p-A27-1~9] 8.5 プラズマナノテクノロジー

[13p-A27-4] プラズマ化学輸送法によるh-BN原子層の形成

〇北嶋 武¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：h-BN、原子層