[13p-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

[13p-A28-2] Si製スロットアンテナを用いたマイクロ波励起水中気泡プラズマによるレジスト除去プロセスの開発

〇伊藤 卓也¹、石島 達夫¹、田中 康規¹、上杉 喜彦¹、西山 聖²、堀邊 英夫² (1.金沢大, 2.大阪市大)

キーワード：プラズマ、半導体、アッシング