[13p-A28-1~10] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [13p-A28-7] 大面積マイクロ波プラズマの円筒キャビティ励起の最適化Ⅱ

〇(B)長谷川 雄一¹、小川 大輔¹、中村 圭二¹、小林 理²、菅井 秀郎³ (1.中部大工, 2.アプライドマテリアルズ, 3.名産研)

キーワード：マイクロ波プラズマ、円筒キャビティ