2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

15 結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[13p-B4-1~9] 15.6 IV族系化合物

2015年3月13日(金) 16:15 〜 18:30 B4 (6B-104)

17:15 〜 17:30

[13p-B4-5] SiCのTDDB理論

〇南 眞嗣1 (1.フェニテック)

キーワード：SiC、TDDB、酸化膜