[13p-P16-1~4] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[13p-P16-2] アニール条件がGe表面の原子スケールのモフォロジーに与える影響

〇森田 行則¹、太田 裕之¹、昌原 明植¹、前田 辰郎¹ (1.産総研)

キーワード：ゲルマニウム、平坦化、AFM