[13p-P17-1~24] 13.8 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[13p-P17-13] 鉄ドープMOCVD n-GaNショットキーダイオードのアドミタンス分光

〇上田 聖悟¹ (1.愛知工大)

キーワード：GaN、鉄、HEMT