[13p-P6-1~6] 6.4 薄膜新材料

[13p-P6-5] MoSi₂-Si複合体薄膜の抵抗率とHall係数の温度依存性

木谷 僚介¹、〇下薗 宏祐¹、佐藤 祐喜¹、吉門 進三¹ (1.同志社大学理)

キーワード：二珪化モリブデン