[14a-A24-1~12] 13.3 絶縁膜技術

[14a-A24-10] 結晶性La₂O₃ /Ge(111)における電気特性のアニール効果

〇銭高 真人¹、梶原 康裕¹、山田 晋也¹、浜屋 宏平¹、金島 岳¹ (1.阪大基礎工)

キーワード：高誘電率絶縁膜