[14a-A24-1~12] 13.3 絶縁膜技術

△ [14a-A24-5] Al₂O₃/Ge構造に対する熱酸化にともなうGe表面からのGe原子放出過程

〇柴山 茂久^{1, 2}、中嶋 薫³、坂下 満男¹、中塚 理¹、木村 健二³、財満 鎭明^{1, 4} (1.名大院工, 2.学振特別研究員, 3.京大院工, 4.名大エコトピア)

キーワード：ゲルマニウム、Al2O3、酸化