2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14a-A27-1~15] 8.4 プラズマエッチング

2015年3月14日(土) 09:00 〜 13:00 A27 (6A-202)

09:15 〜 09:30

[14a-A27-2] 透明電極材料のエッチング反応における水素ラジカル照射効果

〇李 虎1、唐橋 一浩1、深沢 正永2、長畑 和典2、辰巳 哲也2、浜口 智志1 (1.阪大院工, 2.ソニー)

キーワード:透明電極材料、エッチング