[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-A29-10] ミニマル液体ドーパントプロセスによるnMOSFET試作検討

〇古賀 和博¹、居村 史人¹、浅野 均¹、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ技術研究組合, 2.産総研)

キーワード：ミニマルファブ、液体ドーパント