2015年第62回応用物理学会春季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

2015年3月14日(土) 09:00 〜 12:00 A29 (6A-204)

09:45 〜 10:00

[14a-A29-4] リン酸溶液中レーザドーピングにおけるGe基板面方位の効果

〇高橋 恒太1、黒澤 昌志1, 2、池上 浩3、柴山 茂久1, 4、坂下 満男1、竹内 和歌奈1、中塚 理1、財満 鎭明1, 5 (1.名大院工, 2.学振特別研究員(PD), 3.九大院シス情, 4.学振特別研究員(DC), 5.名大エコトピア)

キーワード:ドーピング、ゲルマニウム