[14a-A29-1~11] 13.4 Siプロセス・配線・MEMS・集積化技術

[14a-A29-8] Si/SiO₂界面準位密度と製造環境における絶対湿度の相関

〇浅野 均¹、居村 史人¹、古賀 和博¹、クンプアン ソマワン^{1, 2}、原 史朗^{1, 2} (1.ミニマルファブ, 2.産総研)

キーワード：界面準位